- ИК микроскопия и спектроскопия с 10 нм пространственным разрешением
- Широкий спектральный диапазон измерений: 3-12 мкм
- Низкий температурный дрейф и высокая стабильность системы
- Универсальный АСМ с самыми современными методиками: SRI (проводимость), KPFM (поверхностный потенциал), SCM (емкость), MFM (магнитные свойства), PFM (пьезоэлектрические свойства)
- HybriD ModeTM – картирование количественных наномеханических характеристик и физических свойств за счет прямых силовых измерений
- Интеграция с микроРаманом (опционально)

НТ-МДТ Спектрум Инструментс представляет ИНТЕГРА Нано ИК – рассеивающий сканирующий ближнепольный оптический микроскоп (р-СБОМ), предназначенный для инфракрасного спектрального диапазона.

АСМ зонд располагается в фокусе оптической системы, направляющей излучение ИК лазера на образец и собирающей оптический отклик. Собранное излучение направляется в интерферометр Майкельсона для оптического анализа. Дальнепольная компонента собранного сигнала подавляется синхронным детектированием. Система ИНТЕГРА Нано ИК позволяет детектировать амплитуду и фазу ближнепольного сигнала. Пространственное разрешение получаемых контрастов отражения и поглощения составляет примерно 10 нм и определяется только размерами острия зонда.