Методы контроля:
оптическая микроскопия;
рентгеноскопия;
акустическая микроскопия;
электронная микроскопия;
рентгеноспектральный микроанализ;
масс-спектрометрия;
контроль посторонних частиц в подкорпусном объеме (PIND-тест);
контроль герметичности методами больших и малых течей.

Неразрушающий контроль:
рентгеноскопия;
акустическая микроскопия;
определение наличия посторонних частиц в подкорпусном объеме;
контроль герметичности корпусов методами малых и больших течей.

Разрушающий физический анализ:
масс-спектрометрический метод контроля влаги под корпусом;
визуально-оптический контроль;
методы растровой электронной микроскопии;
контроль прочности внутренних соединений;
испытание на сдвиг кристалла;
проверка прочности выводов