Минимальный диаметр отверстия 0,15 мм
Шаг сверления 0,075 мм
Минимальная ширина дорожки 0,075/ 0,1 мм
Рабочая зона 305х230 мм
Повторяемость ≤±2 мкм
Точность позиционирования ≤±10 мкм
Разрешение 0,5 мкм